Lithographie
Hottes ISO5 (classe 100) d'enduction et recuit pour résines optique et électronique
Aligneur de masque Süss MJB4
Étuves et microscope optique en lumière verte (inactinique), réfrigérateur et congélateur
Banc d'interférométrie laser à miroir de Lloyd
*Résines: AZ1505, AZ1518, AZ4533, AZ9260, AZ5214E, AZ MIR701, SU-8 2000.5, ma-N 2403, S1818-G2, LOR 30B, PEDOT:PSS (Al 4083)
Lithographie électronique Raith Pioneer
*HVmax: 30kV
*Platine interférométrique
*Résines: PMMA, CSAR62; HSQ (FOX16, HSQ15), ma-N 2405
Revêtement conducteur: Electra 94
*Injecteur de gaz (SiOx) Orsay Physics
