Gravure

Gravure humide et électrochimie: 6 hottes ISO5 (classe 100)

*Nettoyage substrat (solvants et UVzone)/nanomatériaux/lift-off

*Acide/base/électrochimie

*Lignes de gaz: N2, Ar, He, O2, CHF3, H2, C2H4, Cl2, BCl3

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