Lithographie

Hottes ISO5 (classe 100) d'enduction et recuit pour résines optique et électronique
Étuves et microscope optique en lumière verte (inactinique), réfrigérateur et congélateur

*Résines: AZ1505, AZ1518, AZ4533, AZ9260, AZ5214E, AZ MIR701, SU-8 2000.5, ma-N 2403, S1818-G2, LOR 30B, PEDOT:PSS (Al 4083)

Lithographie électronique Raith Pioneer

*HVmax: 30kV

*Platine interférométrique

*Résines: PMMA, CSAR62; HSQ (FOX16, HSQ15), ma-N 2405

Revêtement conducteur: Electra 94

*Injecteur de gaz (SiOx) Orsay Physics

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