Dépôt

Bâti Diamant: Micro-Wave Plasma enhanced CVD Vinci

Bâti de Pulvérisation Alliance Concept EVA300 à 3 cathodes

*Alim DC/RF

*Cibles (taille 1.3″): SiO₂, Al, Au, Ti, Ni, Cr, C, CoCrNi, CoFeB, Fe

*Porte-échantillon polarisable (pour décapage de surface)

Bâti de co-pulvérisation Vinci400 à 4 cathodes

*Alimentations DC/RF

*Source plasma micro-ondes

*Cibles (taille 2″): ZnO, Al, Cu, Zn, Zr, Mo, Ag, TiO₂, Ti, Ta, NiFe, (HEA) Fe₂₀Co₂₀Cr₂₀Cu₂₀Ni₂₀, TiZrHf

*Porte-échantillon chauffant

*SAS d’introduction par canne de transfert magnétique

Co-Évaporateur MHS (matériaux organiques et métaux: Au, Ag, Al), associé à une Boîte à Gants pour transfert sous atmosphère inerte

Bâti OLEDs: Co-Évaporateur KJ. Lesker (matériaux organiques et métaux), avec Boîte à Gants de chargement pour matériaux sensibles

Imprimantes à matériaux par jet d'encre (x2)